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用途管道泵
輸送介質油泵
實際價格來電面議
性能自動
ULVAC羅茨泵維修
PMB系列：PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列：PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列：PMB-040C、PMB-060C
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特長
穩定的排氣特性
低噪音
裝有氣鎮閥
通過打開氣鎮閥，可以將一定量的水蒸氣從排氣口排出，并能凈化油箱內的真空泵油。
維修保養方便
結構簡單，零部件數量少，復原性好，便于保養及檢修，另外大油量型真空泵設有底部放油口和專門加油口，便于定期換油。
大油量型
采用大油箱后，能降低泵的油溫，減少油的氧化和劣化，延長油的使用壽命。另外，對一般的真空裝置來說，能降低吸入泵中的蒸氣及粉塵所引起的油污染的程度，從而減少油更換的頻率，降低使用成本。
用途
? 中央空調、照明、制冷。
? 冷媒灌注機、液晶注入機。
? 真空冷凍干燥、真裝。
? 各種真空設備等相關行業。
Gatch系列皮拉尼真空計
顯示器單元ISG1-N
本顯示器為單通道顯示器，與相應的規管連接后，可作為熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、隔膜真空計使用。與測量單元連接后，不但可顯示測量壓力，還可進行壓力輸出點的設定，能簡單實現各種操作，且工作情況一目了然。通過顯示器單元，可實現遠程操作的控制及測量。另外，本顯示器單元已通過CE，ROHS認證。
用途
? 可用于需要顯示壓力的真空設備。
? 可用于需要多個設**的真空設備。
? 可用于需要RS-485通信的真空設備。
特長
? 從大氣壓至5x10-8Pa均可顯示。
? 3個設**信號輸出。
? 輸入電壓：DC24V。
? 0~10V線性壓力輸出。
? 配備有標準的RS-485通信接口。
? 直觀的LED顯示。
? 各種單位可顯示
? 已通過CE，RoHS認證。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特長
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
選購件
可選購、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
用途
? 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
? 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
? 用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
? 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
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